ARUAL-Tech

Main menu:

Полуавтоматические установки нанесения, проявления и сушки

серии 5000 и 7000

Полуавтоматические установки серии 5100 позволяют проводить процессы обработки для единичных подложек и пластин до 225 мм по диагонали и до 4 подложек/пластин размером до 100 мм на установках серии 5400.

Серия установок 7000 позволяет проводить процессы с одиночными подложками диаметром до 12” и до 500 мм по диагонали.

Применение

Нанесение, Проявление,
Отмывка/Очистка
Сушка вращением

Характеристики

Ручное расположение, управление подложкой и распределение резиста.
Диапазон скорости 200 - 8 000 оборотов в минуту
Регулируемое ускорение (1 000 - 40 000 оборотов в секунду)
Полипропиленовая емкость, защита от брызг и защитное верхнее покрытие
Вакуумная блокировка предотвращающая запуск с низким вакуумом
Обдув азотом DC двигателя с блокировкой

Автоматические системы серии S800

Системы для фотолитографических процессов серии S800 SoliTrac позволяют проводить автоматические (Кассета-В-Кассету) процессы на пластинах и подложках с неравномерной поверхностью, размером до 150 мм по диагонали. Система управляется микрокомпьютером с ЖК дисплеем.

Процессы:	Нанесение, Проявление, Скруббер/Струя, Сушка, Взрывная ф/литография и травление
*Нанесение:*	Тефлоновый мембранный насос, Картридж диспенсера под давлением Дозирование, с фиксированной рукой распылителя или Эксклюзивной рукой диспенсера АУТОКОАТ (программируемой). Поддержка больших ОЕМ насосов
*Проявление:*	Аспирационный атомарный распылитель, Распылитель под давлением, Эксклюзивный ультразвуковой распылитель ОПТИМИСТ, Гармоничный стриппер взрывной литографии (контроль шагового двигателя) плюс опциональный контроль температуры поставляемой химии
*Пар:*	Паровое преднанесение для усиления адгезии. В стандартной конфигурации - до 2500С
*Охлаждение:*	Стабилизация температуры пластины после экспонирования и паровой сушки.
Сушка:	до 2500С. Контактная и бесконтактная сушка. ±0.50С до 1250С; ± 0.5% 125-2500С ПИД контроллер с шагом 10С
Верхняя Температурная Сушка:	Равномерность температуры плитки ± 0.50С при 1000С, ± 1.20С при 3000С, ± 2.1% при 3500С, ± 2.3% при 4000С ± 2.6% при 4300С

Запросить более подробную информацию