ARUAL-Tech

Main menu:

Система осаждения нанокластеров

NanoSys

Mantis Deposition предлагает дополнительный диапазон инструментов для осаждения нанокластеров.

Характеристики газовых потоков в пределах области конденсации гарантируют усовершенствование распределения пучка, для точного формирования размера частицы на стадии становления.

Уникальная конфигурация области конденсации также максимизирует соотношение нанокластеров к газу-носителю, входящему в главную рабочую камеру.

Использование квадрупольного масс-спектрометра позволяет анализировать и далее фильтровать пучок нанокластеров. А различные параметры энергетики нанокластеров позволяют проводить фундаментальные исследования нанокластеров или растить нанокластерные слои с точными характеристиками.

Основные характеристики

Фланец	NW150CF / 8”
Размер пучка	1-15nm (material dependent)
Варьирование	+/-5% (flow/power dependent)
Норма осаждения	6 Angstroms/s (Max.)
Газовый поток	5-100 sccm Ar/He
Охлаждение	Вода / Ln2

Открыть брошюру на английском языке в pdf формате

Открыть брошюру "Применение" на английском языке в pdf формате