Main menu:
Иследовательские системы осаждения тонких пленок компании
MANTIS DEPOSITION
Системы Qprep250 и QPrep500 разработаны для удовлетворения различных потребностей в области исследований тонких пленок в ультрачистых условиях.
Системы могут комплектоваться различными источниками для удовлетворения самых разнообразных потребностей пользователя.
Установка осаждения нанокластеров NanoSys использует уникальный источник высокого давления NanoGen50 для генерирования нанокластеров в пределах области конденсации.
Эти нанокластеры генерируются источником в виде четкого пучка и могут быть направлены к подложке для осаждения или герметизации.
Структура нанокластеров, типа оксидов или нитридов может быть выращена путем добавление малого количества реактивного газа к рабочим газам.