ARUAL-Tech

Main menu:

Система реактивно-ионного травления RIE с системой вакуумной загрузки

MINILOCK-PHANTOM III

phantom

Система реактивно-ионного травления Minilock-Phantom III- первая система включающая в себя систему вакуумной загрузки (load-lock) на компактной платформе. Система отвечает всем требованиям безопасности и применяется в наиболее востребованных областях, включая травление с использованием коррозийных химических процессов.

Применение
Проведение процессов травления с применением коррозийных газов
(Cl2, BCl3, SiCl4, HBr, NF3, и т.д.)

Al, Au, Cr, Cu, Carbon, GaAs, GaN, InP, Polysilicon, Pt, Si, SiC, Ti.

Основные характеристики

Жестко анодированные катод и анод из цельного алюминия.

Нижний электрод доступен в двух вариантах 200мм или 300мм и может обработать части и пластины до 200мм или 300мм в диаметре.

Процессионные газы вводятся в камеру кольцевым способом или душевым коллектором

Система вакуумной загрузки Trion включает в себя роботизированный манипулятор, изоляционный клапан реактора и блокируемую камеру.

Роботизированный манипулятор имеет прямую передачу и высоконадежный размещающий механизм.

Система комплектуется 600 Вт, 13.56 МГц RF генератором.

Цветной ЖК монитор с сенсорным управлением.

Управление процессами на ПК

Пакет графического ПО.

Хранение рецептов процессов на жестком диске или на внешнем USB накопителе.

Дроссельный клапан, управляемый непосредственно контроллером процесса, для обеспечения контроля давления, независимо от других параметров.

До восьми расходомеров с C-уплотнениями или орбитальной сваркой VCR фитингов.

Открыть брошюру на английском языке в pdf формате

Открыть брошюру Phantom LT на английском языке в pdf формате

Открыть Footprint на английском языке в pdf формате