Main menu:
Системы плазмохимической обработки
TRION TECHNOLOGY
MINILOCK-PHANTOM III
Система реактивно-ионного травления RIE с системой вакуумной загрузки.
SIRUS T2
Настольная система реактивно-ионного травления (RIE).
TITAN
Система плазменной обработки с системой вакуумной загрузки для полупроводниковой отрасли
MINILOCK-ORION III
Система плазмохимического осаждения из паровой фазы (PECVD) с системой вакуумной загрузки
Мультикамерная система удаления резиста Stripper
ORACLE
Кластерная система травления и осаждения с центральной вакуумной транспортной системой.
Система микроволнового удаления резиста Stripper