Main menu:
Многофункциональные системы очистки
Универсальная мойка SWC 3000 и SWC 4000
Универсальная мойка SWC 4000 с возможностью очистки круглых пластин диаметром до 12" и квадратных пластин размером до 9", включающая в себя возможность проведения процессов неповреждающей УЗ, химической, щеточной, струйной очисток и сушки вращением.

Универсальная малогабаритная мойка SWC 3000 с возможностью очистки круглых пластин диаметром до 12" и квадратных пластин размером до 9", включающая в себя возможность проведения процессов неповреждающей УЗ, химической, щеточной очисток и сушки вращением
Открыть брошюру по SWC3000 и SWC4000 в pdf формате
Система очистки UVOH 150 / UVOH 300P
UVOH 150 / UVOH 300 - универсальная система, предназначенная для очистки и процессов удаления непроявленного фоторезиста. Взаимодействие поверхности с высоко - интенсивной УФ радиацией и Озоном обеспечивают освобождение поверхности от углерода.
Настольная система, совместимая с чистой комнатой класса 10, состоит из герметичной камеры. Размещение пластин или на нагреваемом столике или на кварцевых дорожках, для минимизации контакта, в зависимости от применения.
Система щеточной очистки UH118
Система щеточной очистки пластин на рамке UH118 обеспечивает оптимальное решение для чистки пластин после резки или скрайбирования. Установка может обрабатывать 300 мм пластины или 200 мм пластины закрепленные в рамке в полуавтоматическом, программируемом режим.
Система UH118 является идеальным решением и выбором многих пользователей в мире благодаря микропроцессорному контролю, возможности программирования скорости и высоты щетки, а также тройной системы подачи воды и двойной системы обдува нагретым воздухом.
Открыть брошюру на английском языке в pdf формате
Система плазменной очистки PlasmaStar200

PlasmaSTAR 200 основана на модульном концепции. Множество электродных модулей могут быть легко вставлены в базовую версию. сисетма предлагает своим пользователям легкость использования, разнообразие плазменных процессов, высокую надежностт и привлекательную стоимость.
Открыть брошюру на английском языке в pdf формате