ARUAL-Tech
Main menu:
- Главная
- О компании
- Продукция
- Материалы
- Контакты
Системы «мокрого» травления
PSB4
Двухкамерная система получения пористого кремния
Наряду со специальным источником питания и программным обеспечением, система PSB4 является единым решением для проведения процессов формирования пористого кремния и электрополировки кремниевых подложек.
Ванна, емкостью 5 литров (для 4” пластин) плавиковой кислоты HF или 4 литра HF-этанола, сделана из сварного полипропилена.
Для соображений безопасности ванна оборудована соединениями для непрерывной экстракции пара.
Два дополнительных окна по бокам ванны, позволяют проводить процессы формирования пористого кремния с использованием светового потока.
Характеристики
Наименование |
PSB4 |
PSB6 |
Размер подложек |
4" or 100 мм |
6" or 150 мм |
Внутренний размер ШхВхГ |
200 x 150 x 180 мм |
285 x 227 x 260 мм |
Внешний размер ШхВхГ с п/отводом |
325 x 300 x 270 мм |
410x377x350 мм |
Материал |
Сварной полипропилен |
|
Разделитель |
Полипропиленовый разделитель ванны на две камеры с отверстием dia 98 мм (PSB4) или dia 148 мм (PSB6) |
|
Держатель |
Держатель подложек с защелкой |
|
Электроды (2) |
dia 98 мм (PSB4) или dia 148 мм (PSB6), съемный, соединенный с платиновым проводом и с позолоченным коннектором. |
|
Окно (2, опция)Размер и положение |
dia 98 мм (PSB4) или dia 148 мм (PSB6) |
|
Материал |
500 µ сапфировый диск и 4.7 мм защитный кварцевый диск |
|
Крышка |
Полипропиленовая с держателем |
|
Допустимые кислоты |
HF и HF-этанол |
|
Температурный диапазон |
10°C-30°C |
|
